作为龙玺精密提供的专业封装设备,DISCODAD3240是日本DISCO研发的全自动划片机,专为半导体晶圆、LED芯片及各类电子元件的封装切割设计。其核心优势在于高精度主轴控制与多轴联动系统,搭配金刚石刀片或激光切割模块,可实现从薄型晶圆到多层封装基板的精准分切✅。
硬核参数:切割精度的技术标杆切割精度:定位精度±2μm(3σ),重复精度±1μm,适配最小50μm线宽的切割需求;刀片主轴转速最高60,000rpm,振动幅度<1μm,确保切割边缘无崩裂;
产能表现:单晶硅切割速度达500mm/sec,陶瓷基板切割速度200mm/sec,单日产能超10万片⚡;支持8英寸晶圆整板切割,兼容4-12英寸晶圆的分片工艺;
工艺配置:标配水冷系统(水温控制±0.5℃),减少切割热损伤;视觉对准系统分辨率0.1μm,支持Mark点自动识别与偏移补偿;
设备规格:整机尺寸1.8m×1.5m×1.7m,重量约1.5吨,适配车间紧凑布局。
应用场景:从晶圆切割到先进封装在半导体封装环节,它可完成WLCSP(晶圆级芯片封装)的切割成型,避免传统激光切割的热影响区;LED领域常用于蓝宝石衬底的精密分片,切割边缘粗糙度<5μm;功率器件(如IGBT模块)的陶瓷基板分切也能轻松驾驭。设备支持刀片切割、激光切割双模式切换,适配硅、玻璃、陶瓷、金属等多材质加工。
每台二手DAD3240均经过专业校准:主轴动平衡测试振幅<0.5μm,视觉对准系统CPK>1.5,刀片更换周期记录完整。对于中小批量封装产线或科研打样场景,它能以高性价比实现“高精度+高产能”的切割能力,是半导体封装环节的实用之选~
DISCO切割机#电子元件切割