半导体封装与晶圆加工圈的伙伴看过来!二手DISCODAD3220晶圆切割机堪称高产能切割场景的“全能选手”,在8英寸/12英寸晶圆批量加工、功率器件切割等领域表现亮眼,以“高速+高精度+高兼容性”解锁半导体制造的效率密码!
✅双轴联动:效率翻倍的切割“加速器”双主轴同步作业:搭载两个独立高速主轴(转速6000-60000rpm),可同时安装不同规格刀片(如金刚石刀片、陶瓷刀片),一次走刀完成“粗切+精修”两道工序,相比单轴设备产能直接提升100%。
✅12英寸兼容:大尺寸晶圆的“专属拍档”超大行程样品台:工作台尺寸达350mm×350mm,最大兼容12英寸(300mm)晶圆,支持全自动边缘检测与偏心补偿,针对大尺寸晶圆易出现的翘曲问题,配备真空吸附分区控制,确保切割时晶圆平整无偏移。
超薄晶圆友好设计:通过可调式背压装置,可稳定夹持50μm以下的超薄晶圆(如倒装芯片用晶圆),配合低速切割模式,崩边控制在5μm以内,避免薄脆晶圆的切割碎裂风险。
✅智能工艺:全材料切割的“万能钥匙”多材料切割数据库:内置硅晶圆、陶瓷、蓝宝石、碳化硅等20+种材料的切割工艺参数库,一键调用优化方案。例如切割碳化硅时,系统自动匹配高转速(50000rpm)+低进给量(100mm/s)的组合,减少材料崩裂。
3D轮廓扫描功能:配备激光轮廓仪,可预先扫描晶圆表面起伏,自动生成补偿切割路径,应对带凸点(Bump)的封装晶圆或异形芯片切割需求,例如功率器件的铜柱封装切割⚡。
✅自动化集成:产线无缝对接的“智能中枢”全流程自动化:支持与前端晶圆搬运机器人、后端视觉检测设备无缝对接,通过SECS/GEM接口实现工厂自动化(FA)系统集成,适合构建无人化切割产线。
AI缺陷预警系统:内置刀片磨损监测算法,通过电机电流、切割振动等数据实时分析刀片状态,自动提示更换周期,避免因刀片损耗导致的切割质量波动。
应用场景对比表领域
典型加工对象
DISCODAD3220核心优势
功率半导体
碳化硅MOSFET、IGBT晶圆
高硬度材料切割效率提升30%,崩边率<0.5%
先进封装
带TSV/UBM的12英寸晶圆
大尺寸高精度定位,TSV边缘切割误差<10μm
化合物半导体
砷化镓、氮化镓晶圆
低损伤切割工艺,保持材料电学性能稳定
传感器制造
MEMS芯片、图像传感器晶圆
三维结构切割适配,保护脆弱敏感元件
二手设备选购要点真空系统效率:测试各吸附区真空度(标准≥-90kPa),确保超薄晶圆夹持稳定性。
软件版本更新:确认是否支持最新工艺包(如碳化硅切割补丁),避免因软件过时限制功能使用。
二手DISCODAD3220以“双轴高速+大尺寸兼容+全材料适配”的硬核实力,成为半导体企业降本增效的优选设备!无论是扩产需求还是工艺升级,这台切割机都能为你的产线注入“高速精准”的动能✨!
切割机DAD3220半导体设备